روباتیک

سامانه های میکرو الکترومکانیکی (MEMS)

سامانه-های-میکرو-الکترومکانیکی-MEMS

فناوری میکرو الکترومکانیکی یا MEMS فناوری دستگاه های مکانیکی بسیار کوچک با نیروی محرکه ی الکتریکی می باشد که در مقیاس نانو جزو نانو سامانه های الکترو مکانیکی و نانوفناوری می باشند.

سامانه های MEMS از اجزایی به اندازه ی ۱ تا ۱۰۰ میکرون(میکرو متر) ساخته می شوند و دستگاه های MEMS محدوده ی اندازه شان از ۲۰ میکرون تا یک میلی متر می باشد.آنها معمولاً از یک واحد مرکزی پردازش داده و چند قطعه از قبیل ریز حسگرها جهت تراکنش با بیرون تشکیل می شوند.

MEMS زمانی عملی شد که توانست با استفاده از فناوری های اصلاح شده ی ساخت قطعات نیمه هادی که معمولاً برای ساخت قطعات الکترونیکی استفاده می شوند ساخته شود.

این فناوری ها عبارتند از: قالب گیری و آبکاری فلزی ،کنده کاری تر و خشک ،ماشین کاری با تخلیه برقی و فناوری های دیگر که امکان ساخت دستگاه های کوچک را فراهم می کنند.

یک مثال اولیه از دستگاه های MEMS، تشدید کننده است؛ یک تشدید کننده ی یکپارچه ی برقی مکانیکی.

بسته به وسیله و بازار هدف، فناوری MEMS می تواند با استفاده از چند ماده و روش مختلف ساخت عملی شود.

مواد برای ساخت MEMS:

1- سیلیکون:

سیلیکون در شکل بلور تکی، تقریباً یک ماده ای است که وقتی خم شود پسماند ندارد،

بنابراین تقریباً تلفات انرژی نداریم.

روش های پایه برای تولید همه ی وسیله های MEMS سیلیکونی عبارتند از رسوب دهی لایه های مواد، الگو دهی به این لایه ها به وسیله لیتو گرافی نوری و سپس کنده کاری برای تولید شکل های مورد نیاز.

2- پلیمر ها:

سیلیکون بلورین هنوز ماده ای پیچیده و نسبتاً گران قیمت است.از سوی دیگر پلیمرها می توانند در حجم عظیم و با تنوع زیاد از نظر خواص مواد تولید شوند.وسیله های MEMS را می توان از پلیمرها با فرایندهایی مانند قالب گیری تزریقی ،نقش برجسته یا حکاکی دو سویه ساخت.

3- فلزها:

وقتی فلزها در محدوده ی خود به کار روند می توانند درجه ی اطمینان بالایی را نشان دهند.

فلزهای رایج شامل طلا، نیکل، آلومیوم، مس، کرومیوم، تیتانیوم، تنگستن، پلاتینیوم و نقره می باشند.

خوب(13)بد(1)
همچنین ممکن است بپسندید
رباتی طراحی کنید که بدون انحراف از مسیر حرکت می‌کند
ربات مسیریاب با کنترلر PID

دیدگاه خود را بیان فرمائید

نام شما *
وبسایت شما *

دیدگاه شما *

شما می‌توانید از این دستورات HTML استفاده کنید: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>